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　　一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于：基片材料与靶材的晶格匹配程度；基片表面温度；蒸发功率，速率；真空度；镀膜时间，厚度大小。

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　　四.底涂层部分脱落。1.基材表面有油污。清洁表面或更换基材牌号；2.手接触过基材的表面。尽量不要用手摸，或戴防静电手套。3.扩散泵返油。采用加挡油装置等；4.镀膜操作不好。一定的真空度。?